晶圓生產(chǎn)完成后,需要對其進(jìn)行各種參數的檢測,在檢測的過(guò)程中,需要在不同溫度下進(jìn)行測試,晶圓測試用溫控設備(晶圓測試溫控系統)是高精度,高分辨率,高穩定性的控制設備。
晶圓溫度管理系統