ATS無(wú)線(xiàn)晶圓校準與測量系統巧妙地融合了機器視覺(jué)與傳感器模塊,將其集成于晶圓之上,從而能夠精準捕捉晶圓的偏移數據(包括x軸和y軸)。這一創(chuàng )新功能使得晶圓傳輸位置的快速校準成為可能,為半導體制程提供了無(wú)與倫比的晶圓定位精度。
產(chǎn)品亮點(diǎn):
- 實(shí)時(shí)測量反饋:系統能夠即時(shí)提供測量參數,助力操作人員迅速調整并優(yōu)化生產(chǎn)流程,進(jìn)而有效降低耗材成本。
- 精準校準保障:通過(guò)提供準確的晶圓傳輸坐標,確保晶圓在生產(chǎn)流程中的精確定位,對于提升整體制造效率和產(chǎn)品質(zhì)量起到了至關(guān)重要的作用。
- 無(wú)線(xiàn)操作便捷性:ATS系統采用無(wú)線(xiàn)操作模式,減少了物理連接的限制,使得晶圓傳輸和處理更為靈活高效。
- 工藝調整與驗證支持:系統能夠分析在特定工藝條件下收集的參數數據,以便調整工藝步驟,確保達到最佳性能。
- 輕巧設計適應性:ATS系統設計輕巧,適用于多種設備和應用環(huán)境,尤其在空間有限的場(chǎng)所展現出極高的靈活性和便利性。
- 低功耗長(cháng)久運行:憑借低功耗特性,系統能在保持高性能的同時(shí)實(shí)現長(cháng)時(shí)間穩定運行。
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